Microtechnologies - Microsystèmes

Présentation

Objectif : Si la réalisation de microdispositifs est une discipline complexe, la conception et la prédiction de leur comportement est une étape nécessaire de la réalisation des microsystèmes. L'objectif de la formation est d'intégrer des connaissances nouvelles sur la fabrication des microcapteurs : conception, procédés de fabrication et les matériaux innovants mis en œuvre aujourd'hui pour élaborer notamment des capteurs en couche mince ou des microsystèmes, tout en exposant les principes de la détection et de l’actionnement sur la base des connaissances physiques générales.

Programme :
• Description de l'architecture générale des microsystèmes
• Etapes technologiques spécifiques à la réalisation de ces systèmes, comme le micro-usinage collectif, dépôt électrolytique et LIGA…
• Différentes familles de capteurs et microsystèmes sont passées en revue :
o Microcapteurs mécaniques, thermiques, radiatifs/optiques, magnétiques, chimiques…
o Microactionneurs électrostatiques, magnétiques, Piézoélectriques AMF, Thermique…
• Principales étapes de la conception
• Modélisation et simulations assistées par ordinateur
• Présentation des outils de CAO dédiés aux dessins de masques
• Les règles de dessin « Design Rule »
• Structures des tests de base
• Applications des microcapteurs.

En bref

Crédits ECTS 2

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